芯片廠傳統(tǒng)的通風形式是“大循環(huán)”，車間的整個頂棚上布滿高效空氣過濾器，整個地面為回風柵板?，F(xiàn)在很多芯片廠使用自帶風機的過濾裝置，即FFU。 空氣中的海鹽粒子是所有電子工業(yè)的大敵，但空氣中海鹽粉塵的顆粒比較大，普通空氣過濾器就能將其過濾掉。

空氣過濾器的更換和使用：

1、過濾器的使用：粗效、中效、高中效、亞高效、高效、超高效6種過濾器各有各的用途，需要正確使用，如果使用不當，不但不會起作用而且還會產(chǎn)生不良甚至相反的效果。因此，設計、建造和維護管理潔凈室的人員要特別注意。粗效過濾器是作為預過濾器使用，一般是設置在空調箱內，其作用是過濾大顆粒的粒子，以保護其后的空調設備（如表冷器和加熱器等）和中效以及高效過濾器。一般粗效過濾器不能作為終端過濾器。中效過濾器一般設在空調箱的正壓段，其作用是保護亞高效、高效過濾器等終端過濾器。它除去的是≥1.0?m的中小粒子。一般情況下，中效過濾器是中間過濾器，不能做預過濾器用，也不能做終端過濾器。高效和超高效過濾器都做為凈化系統(tǒng)的終端過濾器。一般放置在潔凈室的吊頂上。高效過濾器（HEPA）是潔凈室需要的終端過濾器。而超高效過濾器是0.1?m，10級、1級或更gap效率的潔凈室需要的終端空氣過濾器。

2、過濾器的更換：過濾器經(jīng)過一段時間的運行，當過濾器的阻力達到其終阻力Hz時，一般情況下就要更換了，否則其性能就會下降，達不到應起的作用，甚至會影響系統(tǒng)的正常運行。對粗、中效過濾器而言，有一次性使用后廢棄的也有可清洗后繼續(xù)使用的，不過清洗后的粗、中效過濾器的阻力遠比其初阻力大，效率也有所提高。然而亞高效、高效和超高效過濾器都是一次性的，使用后就廢棄的。

空氣過濾器特別說明：低效率過濾器一般使用粗纖維濾料，纖維間空隙大，過大的阻力有可能將過濾器上的積塵吹散，這種情況下，過濾器阻力不再增高，但過濾效率降到幾乎為零，因此要嚴格控制粗效空氣過濾器的終阻力值！